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超高分辨光學(xué)檢測系統(tǒng)
超高分辨光學(xué)檢測系統(tǒng)
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超高分辨,高靈敏光學(xué)檢測方法與技術(shù)不僅是獲取物質(zhì)微觀信息的重要手段,同時也是高精度光學(xué)加工,高精密3D打印等先進制造技術(shù)的基礎(chǔ).本文簡要介紹和分析了超高分辨和高靈敏光學(xué)成像技術(shù),亞納米級精度光學(xué)表面檢測技術(shù),三維空間信息精確提取與精密檢測技術(shù),以及高靈敏度精細(xì)光譜實時檢測技術(shù)等方向的發(fā)展歷史,現(xiàn)狀以及發(fā)展趨勢,結(jié)合我國的戰(zhàn)略需求,對"十三五"期間應(yīng)重點開展的超高分辨,高靈敏光學(xué)檢測方法與技術(shù)提出了建議和展望.

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DRAM... 高靈敏光... 超高分辨...
2021-12-06
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