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MEMS振動(dòng)
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監(jiān)控工業(yè)系統(tǒng)中的振動(dòng)可以提供有關(guān)設(shè)備健康狀況的寶貴數(shù)據(jù),并可以節(jié)省成本的先發(fā)制人的維護(hù),但是有許多不同的方法來構(gòu)建這樣的系統(tǒng)。可以使用簡單的壓電振動(dòng)傳感器,但需要數(shù)據(jù)采集和信號處理來捕獲和分析數(shù)據(jù)。微機(jī)械(MEMS)傳感器在汽車安全氣囊和智能手機(jī)和平板電腦跌落傳感器等應(yīng)用中的應(yīng)用越來越受歡迎,這大大提高了成本,并開啟了這些傳感器在工業(yè)應(yīng)用中的應(yīng)用。