原標(biāo)題：什么是熱氣流式MEMS加速度傳感器

熱氣流式MEMS加速度傳感器是一種特殊的加速度傳感器，它采用加熱的氣體作為“檢測質(zhì)量”，利用熱氣流的變化來感應(yīng)物體的加速度變化，并將其轉(zhuǎn)換成電信號輸出。以下是關(guān)于熱氣流式MEMS加速度傳感器的詳細(xì)介紹：

一、工作原理

熱氣流式MEMS加速度傳感器的工作原理可以簡化為一個密閉空腔內(nèi)有一個受熱的“氣泡”。這個熱的“氣泡”就是所謂的加速度的“檢測質(zhì)量”。當(dāng)物體以一定的加速度運動時，“氣泡”在慣性作用下必然相對于空腔做反方向運動。此時，對稱分布于空腔內(nèi)部四周的熱電偶就能感測到溫度差值的變化，再利用惠斯登電橋?qū)⑦@種變化轉(zhuǎn)化為電信號輸出。

二、特點與優(yōu)勢

1. 無運動部件：熱氣流式加速度傳感器沒有固態(tài)的運動部件，避免了傳統(tǒng)的機械運動系統(tǒng)固有的一些問題和風(fēng)險，比如在沖擊力或應(yīng)力作用下的斷裂、粘連、卡滯等。

2. 高頻信號不敏感：由于傳感器內(nèi)部是氣體，它是自然的低通濾波器，對馬達(dá)的高頻振動不敏感，因此不容易被馬達(dá)的振動干擾到。

3. 對應(yīng)力變化的容忍度大：熱電偶冷熱極分布較長（毫米級），而電容式的極板距離則是以微米計，因此對線路板彎曲的敏感度不同，x/y軸的offset在SMT前后變化不大，較電容式加速度計小。

4. 零漂小：由于對應(yīng)力的容忍度較大，也不會因手機工廠SMT工序產(chǎn)生的應(yīng)力而有過大變化，因此零漂很小。

5. 結(jié)構(gòu)簡單、易于制造：熱氣流式加速度傳感器采用單片集成的設(shè)計，總體上結(jié)構(gòu)簡單，易于制造，更有效的降低了成本。

三、應(yīng)用領(lǐng)域

熱氣流式MEMS加速度傳感器廣泛應(yīng)用于消費電子、汽車和工業(yè)領(lǐng)域。在消費電子領(lǐng)域，它可用于智能手機、運動追蹤器等設(shè)備中，用于屏幕旋轉(zhuǎn)的自動調(diào)整、計步、摔倒檢測等功能。在汽車領(lǐng)域，它可用于監(jiān)測車輛的碰撞情況，及時觸發(fā)安全氣囊等保護(hù)措施。在工業(yè)領(lǐng)域，它可用于各種需要監(jiān)測加速度變化的場合。

綜上所述，熱氣流式MEMS加速度傳感器以其獨特的原理、特點和優(yōu)勢，在各個領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。隨著科技的不斷發(fā)展，它的性能將不斷提升，應(yīng)用領(lǐng)域也將進(jìn)一步拓展。